Die Hochdruckbefeuchtung besteht aus einer Hochdruckpumpe mit niedrigem Energiever-brauch, die eine oder mehrere Befeuchtungseinheiten mit eingebautem Ventilator versorgt. Die Befeuchtung geschieht dadurch, dass Wasser unter hohem Druck durch kleine Düsen in mikroskopische Partikel zerstäubt wird. Der Ventilator verteilt die Feuchtepartikel, so dass eine gleichmäßige Luftfeuchtigkeit im ganzen Raum erreicht wird. Die Hochdruckanlage ist als eine geräuscharme, nicht tropfende Anlage konstruiert. Das bedeutet, dass die Befeuchtungs-einheiten problemlos in allen Produktionshallen platziert werden können – sogar bei niedriger Deckenhöhe. Die geschlossene Konstruktion der Anlage minimiert die Bildung von Bakterien und den allgemeinen Reinigungsaufwand.

Der Dampfbefeuchter besteht meist aus einem Dampfzylinder, in dem das Wasser bis auf 100 °C erwärmt und dann weiter erhitzt wird, bis Dampf entsteht. Der Dampf wird über einen Dampfspieß direkt in den Raum oder durch das Kanalsystem geleitet. Wenn das Wasser siedet, lagern sich Mineralien ab, die regelmäßig in den Abfluss gespült werden müssen.

Die Befeuchtung erfolgt in offenen Wasserbehältern unter Zugabe kleiner elektrischer Einheiten, die das Wasser in Schwingungen versetzt und dadurch kalten Dampf freigibt. Das Niveau im Wasser muss sehr genau zur Befeuchtungseinheit passen. Der Befeuchter wird als Einbau in das Kanal-System oder mit eigenem Ventilator montiert. Das Wasser, das im Niveaubehälter steht, muss regelmäßig in den Abfluss geleitet werden.

Zerstäubung findet statt, wenn Druckluft durch eine Düse geleitet wird, wo sie ein Vakuum bildet. Dieses Vakuum saugt das Wasser mit hinaus in die Luft und wird mit der Druckluft zu einem kalten Wassernebel vermischt. Die Leistungsfähigkeit/Zerstäubung der Düsen ist vom Vakuum abhängig, das im Düsenkopf erreicht wird. Wenn dieses Vakuum aus verschiedenen Gründen verändert wird, hat das für die Leistungsfähigkeit der Düsen Konsequenzen und damit auch für den Betriebsfaktor.

Zerstäubung geschieht dadurch, dass in der Düsenkammer des Luftwäschers Wasser aus einem Vorlagebecken in die Kammer versprüht wird. Die Luft durchströmt die Kammer und wird dadurch angefeuchtet. Ein Großteil der versprühten Wassermenge fällt in die Bodenwanne des Luftwäschers, den so genannten "Sumpf” und wird von dort erneut hochgepumpt und zur Luftbefeuchtung wieder verwendet. Der Luftwäscher wird häufig in Klimaanlagen zur Befeuchtung der klimatisierten Luft eingebaut.